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曹嘉许沉思着点头，他同样没有怀疑辛启天提供的信息真实度，“如果这样的话，看来我们确实时间很紧。老大，有没有可能，直接跨过EUV技术，提供四代五代机器？”
辛启天轻轻摇头，“跨过EUV技术，不大可能。毕竟EUV阶段，才刚刚起始。没有走到一定阶段，下一阶段，到底开展什么方向研究，我也说不准。”
“因为，我们不可能完全放弃现有半导体产业，独立去搞其他研究。”
“那样的话，需要成百上千的工艺去完善整个供应链才行。否则，即便东西在先进，没有配套的产业链，产业环境。”
“市场很难认可。”
“我们市场应用率比较低，变革幅度大一些没问题。换成欧美那些国家，让他们换一条路走，需要消耗无数庞大的资源。得不偿失。”
“不过，我觉得可以在光源上，琢磨琢磨。”
“现在EUV采取的光源研究方向，是大功率CO2激光器。由于二氧化碳辐射到EUV的转换效率为百分之几，二氧化碳源必须提供20kW以上的功率的能源。”
“辐射以50kHz的脉冲碰撞~30μm的锡滴。”
“所以导致，EUV不稳定，碎片衰减严重。ASML他们现在关键攻关的难题，就是大功率CO2激光器系统。”
“我们要做的话，我建议走两个方向，一个简单，一个更难。”
“气体激光器技术已经很成熟了。我有信心，如果我们来搞CO2激光器，或者我更倾向的CO激光器，当然后者对于成本、制造生产运行工艺要求很高。”
“如果我们来做，应该会很快搞定。”
“问题是，东西做出来。与ASML合作是可以的，但对方不会给我们更大优惠。很难让我们入股，每年能购买的EUV机器，恐怕依然在两三台左右。就这，估计还会有许多其他要求。”
“风车国依靠光刻领域霸主，可是没少帮助国内许多地方。”
“另一个方向，我考虑做自由电子激光器。”
“这种激光器，前景非常好！”
“具有高功率、高效率、波长的大范围调谐，和超短脉冲的时间结构，等一系列优良特性。”
“自由电子激光器，产生激光的原理，与以往的激光器有本质上的不同。利用相对论电子束，通过周期磁场将电子束的动能转换为辐射能。”
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